IGBT
IGBT是一種非常重要的電力電子器件。它不僅具有功率MOSFET的低驅(qū)動功率和高開關頻率的優(yōu)點,而且具有大功率晶體管低導通電壓和高導通電流的優(yōu)點。它可以在任何時間關斷導通電流,避免了普通晶閘管只能在半波內(nèi)關斷的缺點。它是電力電子領域很有前途的大功率半導體器件。
IGBT又稱絕緣柵雙極晶體管,是電力半導體器件第三次技術革命的代表產(chǎn)品。廣泛應用于軌道交通、航天、船舶驅(qū)動、智能電網(wǎng)、新能源、交流變頻、風力發(fā)電、電機驅(qū)動、汽車等行業(yè)。它自創(chuàng)立以來已經(jīng)有大約30年了。它實現(xiàn)了12英寸的硅片和6500伏的高電平。

IGBT的主要I-V特性
IGBT可以理解為與PiN二極管串聯(lián)的MOSFET或者具有由達林頓結(jié)構驅(qū)動的寬基區(qū)的PNP。前者可以理解其特點,后者是其原理。由于溝道開路產(chǎn)生的電流必須滿足漂移電流和漂移電阻大于0.7V的乘積,所以MOSFET的I-V曲線似乎向后移動(>0.7V),使得P+襯底和N-漂移P-N結(jié)可以向前工作,否則溝道開路就不能工作。
最后,讓我們吹噓一下吧。你經(jīng)常聽說第一代IGBT,直到第六代IGBT。這些是什么意思?
1)第一代:他是IGBT的雛形,最簡單的原理結(jié)構,因此他必須改進N驅(qū)動來提高耐壓,所以導通電阻和關斷功耗相對較高,所以沒有得到廣泛的應用。
2)第二代:PT-IGBT,由于耗盡層不能穿透N+緩沖層,所以基區(qū)電場呈梯形分布,從而降低了芯片厚度和功耗。這主要是西門子1990年至1995年生產(chǎn)的BSM150GB120DN1(“DN1”指第一代)。它具有600V(與GTR特性相似)的優(yōu)點,并且當達到1200V時,會遇到外延厚度的高成本和低可靠性(摻雜濃度和厚度均勻性差)的問題。
3)第三代:NPT-IGBT采用離子注入技術代替外延技術產(chǎn)生P+集電極(透明集電極技術),可以精確控制結(jié)深,控制發(fā)射效率,提高載流子提取速度,降低截止損耗,維持初始載流子壽命在基區(qū)不影響穩(wěn)態(tài)功耗,并且具有正溫度系數(shù)。點,由于該技術相對成熟,實現(xiàn)了穩(wěn)態(tài)損耗和截止損耗的良好折衷,因此得到了廣泛的應用。該代表公司仍然是西門子第一家采用FZ(區(qū)域熔煉法)代替大塊產(chǎn)品的外延,代表BSM200GB120DN2,VCE>1200V,Vce(sat)=2.1V。
4)第四代:溝槽IGBT,最大的改進是采用溝槽結(jié)構,溝道從表面到垂直平面,基區(qū)PIN效應增強,柵極附近的載流子濃度增加,從而改善了電導率調(diào)制效應,降低了導通電阻。同時,由于溝道不是在表面上,JFET效應被消除,因此柵密度的增加不受限制,而且在柵面積上也不受限制。第四代IGBT繼續(xù)采用第三代集電極P+注入技術,并增加了第二代PT技術作為場端接層、有效的超高壓耐受能力等。采用二次注射技術比較困難。此時,英飛凌的減薄技術是世界首創(chuàng)。在1200V時,其厚度可以減小到120-140μm(NPT-IGBT需要200μm),在600V時甚至可以減小到70μm。
5)第五代:FS-IGBT和第六代FS-溝槽。第五代和第六代產(chǎn)品是IGBT在經(jīng)歷了上述四個技術改進實踐之后各種技術措施的組合。第五代IGBT是第四代產(chǎn)品“透明集電極技術”和“電場終止技術”的結(jié)合。第六代產(chǎn)品是基于第五代槽型網(wǎng)格結(jié)構的改進,具有全新的面貌。

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